罗茨真空泵-带磁耦合器的标准泵

M系列可用于对密封要求严格的z *且要求z *长的维修间隔的过程中。该系列中的大多数与标准系列相同，但是它的特点是附加的紧密密封的电磁联轴器代替了径向轴密封圈。这意味着它在运行期间基本无磨损。泵的总泄漏率小于1middot，10-6Pamiddot，m3middot，s-1。这消除了漏油的可能性，并且工艺气体与环境之间没有交换。 M系列标准泵适用于表4.19中所示的所有应用。此外，这些泵还可用于泵送有毒气体和超清洁气体的工业/化学应用：例如，半导体行业的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于生产平板屏幕。 M系统的尺寸从250m3middot（h-1）到6,000m3middot（h-1）不等。表4.19：OktaLine性能数据